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電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

發布日期：2021-07-23 22:54

信息摘要：

對于半導體制造行業，在制造過程中，高端電氣部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也會導致在接觸周邊空氣時產生腐蝕和氧化。實際上，計算機部件受到的威脅比人類更大，...

隨著半導體制程技術的飛速發展，芯片線寬已經進入納米級，相應的產品對半導體產品生產環境的要求越來越高，因此半導體潔凈室內AMC的控制標準也提高了很多。
1、潔凈室新風控制：在MAU內加裝化學過濾器，控制室外新風中的化學污染物；
2、潔凈室循環風控制：在FFU上方加裝化學過濾器，控制整個潔凈室內部的氣態化學污染物；
3、潔凈室機臺控制：在生產機臺上方加裝化學過濾器，機臺內部空間超潔凈度的氣態污染物控制。

電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

電子面板、半導體行業氣態污染物AMC解決方案

編號	應用場地	可選裝置	功能
①	新風入口處	側開式凈化機組	去除外部環境進入潔凈室的AMC
②	空調機組內	HJ氣相過濾器	去除外部環境和回風進入潔凈室的AMC
③	FFU處	HJ氣相過濾器	去除送風過程進入潔凈室的AMC
④	潔凈室內	內循環凈化裝置	去除潔凈室內產生的AMC
⑤	回風段	HJ氣相過濾器/側開式凈化機組	去除潔凈室回風段含有的AMC

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關鍵詞：半導體工業

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